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[重慶真空鍍膜廠家]薄膜厚度的測(cè)量技巧
發(fā)布時(shí)間：2021-11-24 13:59:46 點(diǎn)擊次數(shù)：870
伴隨著科學(xué)技術(shù)的不斷進(jìn)步和儀器儀表的運(yùn)用，薄膜厚度測(cè)量方式有很多，依照測(cè)量的方法分可以分成兩大類：立即測(cè)量和間接性測(cè)量。立即測(cè)量指運(yùn)用測(cè)量?jī)x器設(shè)備，根據(jù)觸碰（或光觸碰）立即磁感應(yīng)出薄膜的厚度。普遍的立即法測(cè)量有：螺旋式測(cè)微法、高精密輪廊掃描儀法（階梯法）、掃描儀電子顯微法（SEM）；
間接性測(cè)量指依據(jù)一定相匹配的物理學(xué)關(guān)聯(lián)，將相應(yīng)重慶真空鍍膜廠家的標(biāo)量通過(guò)測(cè)算轉(zhuǎn)換為薄膜的厚度，進(jìn)而做到測(cè)重慶真空鍍膜廠家量薄膜厚度的目地。
普遍的間接性法測(cè)量有：稱量法、電容器法、電阻器法、等厚干涉法、變角干涉法、橢圓偏振法。依照測(cè)量的基本原理可分成三類：稱量法、電力學(xué)法、電子光學(xué)法。
普遍的重慶真空鍍膜廠家稱量法有：天平秤法、石英石法、原子數(shù)測(cè)定方法；
普遍的電力學(xué)法有：電阻器法、電容器法、渦旋法；
普遍的電重慶真空鍍膜廠家子光學(xué)方式有：等厚干涉法、變角干涉法、吸光法、橢圓偏振法。
下邊簡(jiǎn)易詳細(xì)介紹三種：
1. 干涉光學(xué)顯微鏡法重慶真空鍍膜廠家
干涉花紋間隔Delta;0，花紋挪動(dòng)Delt重慶真空鍍膜廠家a;，階梯高為t=(Delta;/Delta;0 )*0.5lambda;，測(cè)到Delta;0 和Delta;，就可以，在其中l(wèi)ambda;為可見(jiàn)光光波長(zhǎng)，如用白光燈，lambda;取 530nm。
2. 稱重法
假如薄膜總重慶真空鍍膜廠家面積A，相對(duì)密度rho;和品質(zhì)m可以被精準(zhǔn)測(cè)量得話，膜厚t就可以推算出來(lái)：
d=m/Arho;。
3 石重慶真空鍍膜廠家英石晶振電路法
間接性測(cè)量指依據(jù)一定相匹配的物理學(xué)關(guān)聯(lián)，將相應(yīng)重慶真空鍍膜廠家的標(biāo)量通過(guò)測(cè)算轉(zhuǎn)換為薄膜的厚度，進(jìn)而做到測(cè)重慶真空鍍膜廠家量薄膜厚度的目地。
普遍的間接性法測(cè)量有：稱量法、電容器法、電阻器法、等厚干涉法、變角干涉法、橢圓偏振法。依照測(cè)量的基本原理可分成三類：稱量法、電力學(xué)法、電子光學(xué)法。
普遍的重慶真空鍍膜廠家稱量法有：天平秤法、石英石法、原子數(shù)測(cè)定方法；
普遍的電力學(xué)法有：電阻器法、電容器法、渦旋法；
普遍的電重慶真空鍍膜廠家子光學(xué)方式有：等厚干涉法、變角干涉法、吸光法、橢圓偏振法。
下邊簡(jiǎn)易詳細(xì)介紹三種：
1. 干涉光學(xué)顯微鏡法重慶真空鍍膜廠家
干涉花紋間隔Delta;0，花紋挪動(dòng)Delt重慶真空鍍膜廠家a;，階梯高為t=(Delta;/Delta;0 )*0.5lambda;，測(cè)到Delta;0 和Delta;，就可以，在其中l(wèi)ambda;為可見(jiàn)光光波長(zhǎng)，如用白光燈，lambda;取 530nm。
2. 稱重法
假如薄膜總重慶真空鍍膜廠家面積A，相對(duì)密度rho;和品質(zhì)m可以被精準(zhǔn)測(cè)量得話，膜厚t就可以推算出來(lái)：
d=m/Arho;。
3 石重慶真空鍍膜廠家英石晶振電路法
